Technologies enabling 3D stacking of MEMS
Taklo, Maaike Margrete Visser; Mielnik, Michal Marek; Schjølberg-Henriksen, Kari; Storås, Preben; Tofteberg, Hannah Rosquist; Lietaer, Nicolas; Johannessen, Rolf
Chapter
Permanent lenke
http://hdl.handle.net/11250/2430610Utgivelsesdato
2010Metadata
Vis full innførselSamlinger
- Publikasjoner fra CRIStin - SINTEF AS [5583]
- SINTEF Digital [2379]