• norsk
    • English
  • norsk 
    • norsk
    • English
  • Logg inn
Vis innførsel 
  •   Hjem
  • SINTEF
  • Publikasjoner fra CRIStin
  • Publikasjoner fra CRIStin - SINTEF AS
  • Vis innførsel
  •   Hjem
  • SINTEF
  • Publikasjoner fra CRIStin
  • Publikasjoner fra CRIStin - SINTEF AS
  • Vis innførsel
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Qualification and applications of a piezoelectric MEMS process

Poppe, Erik; Østbø, Niels Peter; Tyholdt, Frode
Chapter
Thumbnail
Åpne
SINTEF+S4765.pdf (301.0Kb)
Permanent lenke
http://hdl.handle.net/11250/2430452
Utgivelsesdato
2007
Metadata
Vis full innførsel
Samlinger
  • Publikasjoner fra CRIStin - SINTEF AS [4328]
  • SINTEF Digital [1671]
Originalversjon
International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2007. TRANSDUCERS 2007, Lyon 10-14 June, 2007  
Sammendrag
An industrializable process for manufacturing of piezoelectric ultrasound transducer elements is demonstrated. The PZT film is deposited by chemical solution deposition on SOI wafers, and standard MEMS processes are utilized to make cantilevers, bridges and membranes. The PZT film of ~50% of the devices exposed to thermal aging were found to fail at 85°C – 85%RH (relative humidity), while a real-life test of 8·1010 cycles at resonance only gives a slight change in Q-value and resonance frequency.
 
Qualification and applications of a piezoelectric MEMS process
 

Kontakt oss | Gi tilbakemelding

Personvernerklæring
DSpace software copyright © 2002-2019  DuraSpace

Levert av  Unit
 

 

Bla i

Hele arkivetDelarkiv og samlingerUtgivelsesdatoForfattereTitlerEmneordDokumenttyperTidsskrifterDenne samlingenUtgivelsesdatoForfattereTitlerEmneordDokumenttyperTidsskrifter

Min side

Logg inn

Statistikk

Besøksstatistikk

Kontakt oss | Gi tilbakemelding

Personvernerklæring
DSpace software copyright © 2002-2019  DuraSpace

Levert av  Unit