• norsk
    • English
  • norsk 
    • norsk
    • English
  • Logg inn
Vis innførsel 
  •   Hjem
  • SINTEF
  • Publikasjoner fra CRIStin
  • Publikasjoner fra CRIStin - SINTEF AS
  • Vis innførsel
  •   Hjem
  • SINTEF
  • Publikasjoner fra CRIStin
  • Publikasjoner fra CRIStin - SINTEF AS
  • Vis innførsel
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

A Clover shaped silicon piezoresistive microphone for miniaturized photoacoustic gas sensors

Grinde, Christopher; Øhlckers, Per; Mielnik, M.; Jensen, Geir Uri; Wang, DT
Chapter
Thumbnail
Åpne
SINTEF+S11537.pdf (1.453Mb)
Permanent lenke
http://hdl.handle.net/11250/2429946
Utgivelsesdato
2009
Metadata
Vis full innførsel
Samlinger
  • Publikasjoner fra CRIStin - SINTEF AS [3618]
  • SINTEF Digital [1445]
Originalversjon
Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, 2009. DTIP MEMS/MOEMS '09  
Sammendrag
Here we present the design and modeling of a novel piezoresistive microphone designed for a photoacoustic gas sensor system. The microphone is fabricated using a novel process to enable DRIE etch through of membranes of multiple thickness.
 
A Clover shaped silicon piezoresistive microphone for miniaturized photoacoustic gas sensors
 

Kontakt oss | Gi tilbakemelding

Personvernerklæring
DSpace software copyright © 2002-2019  DuraSpace

Levert av  Unit
 

 

Bla i

Hele arkivetDelarkiv og samlingerUtgivelsesdatoForfattereTitlerEmneordDokumenttyperTidsskrifterDenne samlingenUtgivelsesdatoForfattereTitlerEmneordDokumenttyperTidsskrifter

Min side

Logg inn

Statistikk

Besøksstatistikk

Kontakt oss | Gi tilbakemelding

Personvernerklæring
DSpace software copyright © 2002-2019  DuraSpace

Levert av  Unit