• norsk
    • English
  • norsk 
    • norsk
    • English
  • Logg inn
Vis innførsel 
  •   Hjem
  • SINTEF
  • Publikasjoner fra CRIStin
  • Publikasjoner fra CRIStin - SINTEF AS
  • Vis innførsel
  •   Hjem
  • SINTEF
  • Publikasjoner fra CRIStin
  • Publikasjoner fra CRIStin - SINTEF AS
  • Vis innførsel
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Cost-effective processing of a piezoresistive MEMS cantilever sensor

Clausen, Ingelin; Moe, Sigurd T.; Vogl, Andreas
Chapter
Thumbnail
Åpne
SINTEF+S19786.pdf (649.6Kb)
Permanent lenke
http://hdl.handle.net/11250/2431457
Utgivelsesdato
2011
Metadata
Vis full innførsel
Samlinger
  • Publikasjoner fra CRIStin - SINTEF AS [4386]
  • SINTEF Digital [1681]
Originalversjon
MME 2011: Proceedings of the 22nd Micromechanics and microsystems technology Europe workshop: 19-22 June 2011 Tønsberg, Norway  
Sammendrag
In this paper cost-effective methods for fabrication of a piezoresistive cantilever sensor for industrial use are focused. The intended use of the presented cantilever is a medical application. A closer description of the cantilever design is given. The low-cost processing sequence is presented and each processing step is explained in detail. Results from electrical probing and mechanical strength test are given. The results demonstrate that the chosen low-cost processing route results in high yield and a mechanical robust device.

Kontakt oss | Gi tilbakemelding

Personvernerklæring
DSpace software copyright © 2002-2019  DuraSpace

Levert av  Unit
 

 

Bla i

Hele arkivetDelarkiv og samlingerUtgivelsesdatoForfattereTitlerEmneordDokumenttyperTidsskrifterDenne samlingenUtgivelsesdatoForfattereTitlerEmneordDokumenttyperTidsskrifter

Min side

Logg inn

Statistikk

Besøksstatistikk

Kontakt oss | Gi tilbakemelding

Personvernerklæring
DSpace software copyright © 2002-2019  DuraSpace

Levert av  Unit